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国家重点研发计划“差分高能电子衍射仪”项目启动会在沈阳召开

发布时间:2019-01-25  来源:

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  日前,由中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司牵头,联合中国科学院物理研究所、中国科学院电工研究所、中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心、中国科学院半导体研究所共同承担的国家重点研发计划“差分高能电子衍射仪”项目启动会在沈阳召开。科技部高技术研究发展中心相关负责同志、辽宁新万博体育app:杜秉海副厅长、项目牵头单位领导、项目“两组一委”专家成员、项目负责人及项目组相关成员等共计30余人出席会议。 

  项目团队在重大科学仪器设备开发及应用示范等方面具有雄厚研究基础,解决了一批国家重大技术难题。本项目针对薄膜、异质结、超晶格人工结构制备工艺过程中的测试需求,突破宽气压高能衍射电子枪和衍射电子气体散射干扰抑制等关键技术,开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的差分高能电子衍射仪,实现宽气压范围晶体取向和薄膜厚度等原位实时测试。

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